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材料檢測顯微鏡都配有顯微成像裝置

　　采用光學放大是檢驗半導體材料和器件的主要方法之一。

　　它包括科研金相顯微鏡、低倍立體多功能顯微鏡以及低倍和高倍三目非立體偏光顯微鏡.

　　此外，多功能顯微鏡中各種附屬裝置如干涉儀、相襯和干涉襯度也是很有用的.鑒于大多數半導體對可見光不透明，偏振光研究(在礦物研究中廣泛使用)通常只有采用紅外轉換器代替常規的目鏡時才能進行.

　　為了儲存各種光學檢驗的結果，常規地使用低倍和高倍拍攝技術.大多數實驗室用的金相顯微鏡都配有顯微成像裝置.

　　若需要更高的放大倍數，尤其是要同時增加景深時，可使用掃描電子顯微鏡.

　　由于它們的價格、復雜性和規模，妨礙了它們象光學顯微鏡那樣廣泛地應用.

　　但是，它們被引進半導體工業后，對微電路相互連接系統的了解已經產生了非常大的影響.

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上海光學儀器廠是國內較早成立大型綜合類光學儀器的生產企業，以顯微鏡、光學儀器、測量工具顯微鏡、生物顯微鏡、測量投影儀、影像測量儀、工具顯微鏡、分光光度計、折射儀等見長，在國內久負盛名。上海顯微鏡企業全面改制后，開發了與電腦……

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